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真空泵系統及其類型
Edit: 浙江非耀設備Date: 2016-07-15

真空泵系統及其類型

    一個容器放在自然環境中.如果不改變其內部氣體壓強,那么容器內外部的氣體壓力達到平衡狀態,在數值上等于大氣壓。要使容器內部達到真空狀態,就必須排出容器內部的氣體,使內部氣體壓強小于外部大氣壓。利用機械、物理、化學或物理化學的方法,把氣體從容器中排出而獲得真空的設備稱為真空泵系統
    真空泵系統按其工作原理的不同分為壓縮型(變容型)和吸附型兩類。壓縮型真空泵工作原理是將泵的入口端的氣體壓縮到出口端,并排出至泵外。
    常見壓縮型真空泵有:利用膨脹一壓縮一排出過程的旋轉式機械泵,利用渦輪葉片排除氣體的渦輪分子泵等。吸附型真空泵的工作原理是將氣體吸附在泵體內,已達到降低氣體壓強的目的。
    常見吸附型真空泵有:利用電離吸氣作用的離子泵,利用物理或化學吸附作用的吸附泵、吸氣泵和低溫冷凝泵等。吸附型真空泵與壓縮型真空泵最大不同是,吸附型真空泵并不是將氣體排出泵外,而是貯存在泵內,前者所能達到的真空度比后者高,但抽速小,適用容器也較小。真空電阻爐采用的是壓縮型真空泵,例如機械泵、羅茨泵以及擴散泵等。

    各類真空泵系統都有自己的工作范圍,有的泵可以直接從大氣狀態下開始工作,如機械泵、吸附泵,有些泵就不能直接從大氣狀態下開始工作,如擴散泵、分子泵、離子泵等,入口真空度必須達到一定數值時,才能開始工作。

 

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