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無油干式機械真空泵的應用
Edit: 浙江非耀設備Date: 2017-10-24

無油干式機械真空泵(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
    1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
    2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
    3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
    4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
    5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
    近年來,干式機械真空泵得到迅速的發展,國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內的許多單位也一直在進行干式機械真空泵的開發研制工作,如東北大學、沈陽真空技術研究所、上海真空泵廠等。目前,干式機械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復活塞式、膜片式等,這類泵的速度較低,適用于小容量高壓縮比(單級壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等,其速度較高,適用大容量,低壓縮比(指單級壓縮比)。不同類型的干式泵具有各自的特點。使用時可根據不同的用途加以選擇。

 

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