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真空泵的發展和應用。
Edit: 浙江非耀設備Date: 2019-05-16

干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵是利用一對螺桿在泵殼內同步高速反向旋轉的一種抽排設備。兩個螺桿經精動平衡校正后由軸承支撐,安裝在泵殼內。螺桿和螺桿之間有一定的間隙。因此,在泵的工作過程中,泵與泵之間沒有摩擦,運行平穩,噪音低,工作腔無需潤滑油。因此,干螺桿泵可以在抽除大量蒸汽和少量粉塵氣體的場合,極限真空度更高,功耗更低,節能,免維護的優點。它是一種新型的油封/水環/噴射真空泵產品。

螺桿泵應用:


1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;


2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;


3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;


4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、消泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵。


5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。


我國螺桿泵發展現狀:

真空泵是一種大范圍、大產量、低產值的產品,但它確實是一種不可缺少的基礎產品,直接影響著真空設備的性能和質量。目前,國外醫藥精細化工行業的真空泵中,干螺桿真空泵約占60%,國內僅占10%-20%。隨著環境保護形勢的嚴峻,這一比例正在上升。通過對全球真空泵市場的分析,可以看出各種真空泵的市場和應用領域在不斷變化和發展。中國的真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎。國內真空泵已廣泛應用于各個領域,部分經國外用戶驗證合格。應該說,我國真空泵制造業在國內外市場仍有巨大的發展空間。

液環泵:

 液環泵雖屬于粗真空泵,但在我國石油、化工、電力、紡織、造紙、醫藥等領域仍有較大的市場。在國外,液環泵的銷售占真空泵總市場的14%,僅次于干式泵。由于大多數液環泵都不是勞動密集型產品,國內液環泵在價格上具有競爭優勢。

干泵:

國外干泵市場的增長主要是由半導體工業、化學工業、制藥工業和薄膜工業的快速發展帶動的。在日本,半導體工業用干式真空泵代替油密封機械泵。在歐美,超過45%的半導體工業用干式真空泵代替了油密封機械泵,大大提高了產品的性能和質量。據統計,國產干式螺桿真空泵的應用比例約為10%-20%。隨著我國環境保護形勢的日益嚴峻,這一比例將在新項目中繼續擴大。從沃爾姆干式螺桿真空泵的年銷售量來看,它一直在增長。


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