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干式真空泵的定義和種類
Edit: 浙江非耀設備Date: 2019-08-10

     干式真空泵出現得很早,但沒有明確的定義。更換油封式機械泵,一般說來是在大氣壓力10-2帕的壓力范圍內工作,在泵氣路(如泵室)內不能使用油和液體,排氣口可以與大氣相通。能連續向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。

市場上有多種類型的干式泵。根據其基本原則,只有兩類,即:

(1)容積式干式真空泵,如多級羅茨泵、爪形泵、往復活塞泵、螺桿泵、渦旋泵等。干泵極限壓力一般為0.1-10pa,泵速為0.01-0.04m3/s。

(2)具有動量傳遞的無油真空泵,如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相通,連續流動狀態下壓縮比高。它是一種原油泵,可以從大氣壓泵送至1022pa,結構上采用徑向和環向流泵復合結構,采用多級串聯泵送。渦輪泵的極限壓力約為10-2帕,泵速為0.02-0.15立方米/秒,牽引式干泵也屬于動量傳遞式干泵

      與油密封機械泵相比,干泵達到相同的極限壓力,其殘余氣體成分完全不同。分析結果表明,油密封泵的殘余氣體CNHM氣體(碳氫化合物氣體)是其主要成分,而干泵的殘余氣體是空氣成分。這證實了干泵的泵送過程中沒有油污染。

       一些干式泵在結構設計中仍在使用潤滑油,如泵的傳動齒輪和軸承,以及合成油,如PFPE油和其他油等,采取了一些措施使泵室內不存在油蒸氣。嚴格來說,它不是無油泵。然而,經過分析,這種合成油的成分是在泵的進口處。它很小,沒有任何效果。


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