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干式真空泵的特色及使用
Edit: 浙江非耀設備Date: 2019-08-16

干式真空泵的特點及使用


      干式真空泵使事變容積中無油,因而帶往了不少長處。首先,它加強了泵的可靠性。干式泵不像油密封泵那樣遭到水蒸氣大概者塵粒的影響,因而它們更耐用,所需的珍愛事變更少。裁減用油質借意味著裁減了認真處置油而破鈔的本錢。利用干式真空泵假使梗概的污染減到較小水仄,那類污染既梗概涌現在油里——影響了泵的性能,也梗概涌現在某些非常的環境下 


  目前,真空行業利用的大多數干式真空泵都是用油、水大概其它聚合物等流體充任泵的事變介質,在泵內起冷卻、密封、光滑等多種感導。隨著科學技術的成長戰真空利用規模的擴展,原有的干式真空泵及其形成的抽氣系統涌現了兩個急需處理成果:一是泵的事變介質返流污染被抽容器,而那類返流在許多環境下影響產品的質質、數質,增加配置設備陳設的珍愛本錢。其次,由于某些工藝過程中的反響物質使真空泵內的介質嚴厲蛻變,使泵不能一樣平常事變。


  關于淺顯的無油真空系統往道,固然可用油封式真空泵加上冷阱大概吸附阱之類附件往防備返流,但不能完整處理成果,而且使系統顯得巨大。而利用妥當型式的干式真空泵,則能夠到達實際的利用成果。


  干式真空泵的利用是廣泛的,重要有以下幾個方面:


  1)下壓化學氣相堆積中的多晶硅制備工藝中;


  2)半導體刻蝕工藝。在那些消費工藝中常常用到大概生成腐蝕性氣體戰研磨微粒;


  3)除半導體工藝中的某些孕育產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒傾軋泵中,則用注定型式的干式呆板真空泵能夠饜腳懇求;


  4)用做淺顯無油干凈真空系統的前級泵,以防備油污染;


  5)在化學財產、醫藥財產、食 品財產中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等,要防備有機溶劑形成污染,契合用干式真空泵。


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