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選擇真空泵站的一些技巧(上)
Edit: 浙江非耀設備Date: 2016-08-20

?選擇真空泵站的一些技巧(上)
      真空泵站在選擇時,有些方面需要特別注意:
      1、真空泵站的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,選用的真空泵站的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
      2、正確地選擇真空泵站的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在 10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于110-5mmHg為好。
     3、真空泵站在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
      4、正確地組合真空泵站。由于真空泵站有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵站不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵站出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

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